Dengan berkembangnya industri semikonduktor Tiongkok, pengembangan komponen utama peralatan proses telah menjadi kendala penting dalam pengembangan peralatan. Ketika seruan untuk lokalisasi teknologi semikonduktor dalam negeri semakin kuat, semakin banyak hambatan teknologi dalam industri semikonduktor yang dapat diatasi. Berdasarkan pengalaman bertahun-tahun di industri semikonduktor, perusahaan kami telah mengembangkan motor servo berkecepatan tinggi-poros berongga untuk menyerap wafer dalam peralatan pelapisan, pengembangan, dan pembersihan semikonduktor. Motor ini memiliki akselerasi tinggi, rentang kecepatan yang luas, dan daya tanggap yang tinggi, serta telah banyak dipuji oleh pelanggan di industri.
Penerapan motor servo poros berongga-:
Peralatan pemaparan dan pengembangan (pelapisan, pengembangan): Peralatan utama untuk proses fotolitografi, pengendalian pelapisan, pemaparan, dan pengembangan.
Peralatan pembersihan, pelapisan, pengembangan, dan penghilangan film.
Cocok untuk pembersihan pembilasan fisik, pembersihan partikel, dan proses penyemprotan.
Spesifikasi Produk dan Area Aplikasi Motor Servo Poros Berongga:
750W/1000W – 5000, 6000 rpm
Area Aplikasi (Model-kelas Atas):
Peralatan semikonduktor 8 inci dan 12 inci.
Proses seperti pelapisan, pengembangan, pembersihan, dan pengetsaan.
Akselerasi maksimumnya bisa mencapai 50.000 R/S² akselerasi sesaat.
Desain ujung poros khusus memastikan koefisien runout beban ujung poros terendah.
